课程大纲：

第1部分：

• 介绍COMSOL Multiphysics的MEMS与压电器件解决方案

• 案例教学：微电阻梁的电热－结构耦合分析（上）

• 案例教学：微电阻梁的电热－结构耦合分析（下）

第二部分：

• 案例教学：微流固耦合分析

• 案例教学：微流控电渗混合器

第三部分：

• 压电器件的插齿表面波分析（2D模式和3D分析）

• 案例教学：机械谐振分析

等....课程

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